新华财经上海6月4日电 （记者李兴彩）“我们本打算购买上海微电子的光刻机，却被告知没有货。”一家在建晶圆厂负责人不无遗憾地说。与此相反，一家半导体后道检测设备商的高管聊起业务却格外兴奋：“新需求非常多，大厂不仅乐意采购本土厂商的设备，还积极配合研发。”
记者近期调研了半导体产业链，许多国产半导体设备公司目前订单爆满，产品交货期普遍延长，这些公司迎来了真正的产业化大机遇。
晶圆厂已买不到国产光刻机
某在建晶圆厂相关人士告诉记者，他们今年对多家国产设备公司的产品进行了评估，但现在面临的问题是，部分设备公司无法对公司按期交付光刻机。“因为他们说没有零部件，无法接新订单。”
这究竟是怎么回事？
“当前半导体设备行业订单爆满，销售形势很好。” 芯源微董事长宗润福笑着说，芯片缺货后，开始轮到半导体设备“卖断货”了。
“这是内外部多因素共同作用的结果。”对于晶圆厂等加速采购国产设备，远川研究所所长董世敏介绍说，在当前的背景下，晶圆厂与封装厂开始重视国内供应链建设；加之受疫情影响，部分海外设备材料公司无法正常生产，也促使晶圆厂、封装厂加大在国内的采购。从半导体设备、材料产业自身看，经过多年扶持和自身努力，相关厂商已经取得不错的成绩，产品开始从“可用”向“好用”迈进。
上海微电子股东榜藏着多家上市公司
记者查阅，上海微电子装备成立于2002年3月，目前已经改为股份有限公司。
股东榜显示，上海微电子装备的第一大股东是上海电气（集团）总公司，持股42.31%；第三大股东为上海光微青合投资中心（有限合伙），持股15.27%；第四大股东为上海张江浩成创业投资有限公司（简称“张江浩成”），持股14.21%；第五大股东是上海泰力产业投资管理有限公司，持股10.71%。
天眼查显示，上海光微青合投资中心（有限合伙）的最终大股东为中国光大控股有限公司。张江浩成的唯一股东是张江高科。
上海泰力产业投资管理有限公司的股东为上海市信息投资股份有限公司、上海市信息管线有限公司，分别持股95%、5%。进一步查看上海市信息投资股份有限公司的股权结构，中国电信、东方明珠分别持有其24%、21.3%的股权。
上市公司不断有新突破
除了产品“卖断货”，记者还发现，国产半导体设备产业正在酝酿一些新趋势。
“我们应一家上市公司要求，开发了12英寸多层结构厚度测量设备，半年内就实现了产品交付。”宁波谦视科技总经理宋金龙表示，国内先进封装发展很快，涌现出很多新的设备需求。
海外留学归来的朱博士告诉记者，瞄准国产半导体设备空白，他与合伙人正在致力于纳米级晶圆图形缺陷检测设备的研发。
新技术和应用下，新需求不断涌现，上市公司更是敏锐跟踪新需求。
比如，中微公司近期表示，正积极布局Mini-LED新型显示及功率器件等领域，MOCVD设备在氮化镓基miniLED领域取得了领先优势。
上市公司在前道设备领域的“播种”已经开花结果。“公司的前道光刻涂胶显影机和清洗机今年开始贡献营收，一季度验收确认数量已经超过去年全年。”宗润福称。与之类似的是，万业企业在去年底实现了集成电路用离子注入机的销售订单突破。
编辑：罗浩
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